RION/日本理音液体粒子计数器，可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂比如碱，有机溶剂和氢氟酸。另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。

特点优势

光源镭射二极管(波长:780nm,额定输出:5mW)

镭射材料 人造石英PFA Perfluoro

流量 25ml/分钟

粒径范围(8通道,标配)； ≥2μm;≥3μm;≥5μm;≥7μm;≥10μm;≥25μm;≥50μm;≥100μm

可选通道 1-10个通道,由控制器设定,设定范围:2~100μm

粒子数量 10000颗/ml

电源 DC12V(由KE-40B1供应)

尺寸.重量 125（H）X 240(W) X 150(D)mm,大约:3kg