AMC是影响半导体制程的重要因素，主要表现为表面分子污染，这是由气态分子和特定表面作用而形成非常薄的化学膜，化学膜通常改变产品表面的物理、电子、化学和光学特性而导致质量缺陷，造成产品良品率下降。AMC种类复杂、来源广泛、控制难度高。

AMC控制方案

化学过滤器用于去除AMC。在洁净室的净化空调系统中，包括新风处理机组（MAU）配置化学过滤器，风机过滤单元（FFU）上安装化学过滤器，以保持大环境、微环境中合格的空气质量。

此外为了满足各生产工序设备维修的需要，当其他的系统不能经济合理地提供所需要的净化处理时，设置移动式深层空气化学过滤器，去除局部高浓度的污染气体，避免高浓度的污染气体进入洁净室循环风系统。

采用先进化学过滤技术去除AMC

化学反应:滤料化学反应

污染物同吸附剂中的化学物质发生化学反应，从而达到去除污染物的目的

该过程非常特殊，取决于吸附剂和被吸附物的化学性质

该过程基本速度很快，并且是不可逆的

可以将有毒有害气体化学氧化为无害的固体

滤料特点

去除效率高，过滤效率可达95%以上

化学反应式过滤原理，无有毒物质释放

产品种类多，能满足各类气态污染物过滤需求

性能稳定，处理能力强，反应迅速

无细菌和微生物滋生

化学过滤器采用了先进的材料和技术，确保了对AMC的高效去除。这些过滤器不仅具备出色的吸附能力，而且能够根据污染物的种类和浓度进行精确调节，以适应不同工艺阶段的需求。

化学过滤器特点：

安装方便，操作简单;

高效过率，比传统活性炭更广谱去除气态分子污染物;

低阻力，无递增压损，节能环保;

使用寿命长，通过化学吸附法去除气态污染物，气态污染物与滤料发生化学反应，有效杜绝空气环境的二次污染，永久去除气态污染物。