洁净室及相关受控环境通过将污染控制至适当水平来完成对污染敏感的活动。ISO 14644-3洁净室及相关受控环境----第3部分:检测方法，设定了适当的方法测量洁净室、洁净区或相关受控环境的性能。

与空气过滤器和系统有关的术语

01气溶胶测试

用测试用气溶胶对过滤器或已安装的过滤器系统进行检测

02规定泄漏

客户与建造商商定的最大允许穿透限值。用光散射粒子计数器(LSAPC)或气溶胶光度计对洁净室设施进行扫描时可检测到的泄漏。

03稀释系统

按已知容积比将进入的气溶胶与无粒子空气混合以降低气溶胶浓度的系统

04过滤器系统

由过滤器、框架及其他支撑装置或外壳所组成的系统

05终端过滤

处于空气进入洁净室前终端位置上的过滤器

06已安装过滤器系统

已安装在天花板、墙壁、网管或设备上的过滤器系统

07已安装过滤器检漏

为确认过滤器安装良好、没有向洁净室设施的旁路渗漏，过滤器及其框架均无缺陷和渗漏所做的检测

08泄漏

(过滤器系统)因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下风向浓度超出预期值

09扫描

用气溶胶光度计或光散射粒子计数器的采样管、采取重叠的行程移过规定的检测区，以发现过滤器泄漏的方法

已安装过滤器系统泄漏测试

这项检测旨在验证洁净室设施不存在旁路渗漏，过滤器不存在缺陷(过滤器介质和密封框架上的小孔、其他损伤，以及过滤器边框泄漏)，从而确认终端高效过滤器安装良好。这项检测不检查系统的效率。这项检测是这样进行的:在过滤器上风向引入检测气溶胶，并在过滤器的下风向对过滤器、其支撑架进行扫描，或在下风向的风管中采样。

已安装过滤器系统检漏

本测试的目的是通过检查设施没有旁路泄漏来确认已安装的对最具穿透性粒子直径(MPPS)具有99.95%或更高完整性效率的过滤器系统安装良好，过滤器无缺陷(过滤器介质、边框、密封有小孔和其它损伤，以及过滤器边框泄漏)。

本测试不用于确定过滤器介质的效率。检漏确定的是泄漏水平，与设施的洁净度性能有关。本测试是在过滤器上游引入气溶胶，扫描过滤器下游和边框或在下游风管取样。该测试适用于空态或静态洁净间/室、新洁净室/区调试时，或现有设施需要重新测试，或在高效过滤器更换之后。

1.气溶胶光度计法

装有任何类型空气处理系统的洁净室/区，设施排放油性挥发性测试用气溶胶并在过滤器上沉积，风管对洁净间/区内的产品和/或工艺和/或人员不会产生危害的。

注:相比于LSAPC方法，气溶胶光度计方法可能需要上游有较高气溶胶浓度。

已安装过滤器系统检漏扫描测试方法

在执行本项测试之前，应测试气流速度。如果设施以不同气流速度运行，则应选择最高水平用过滤器系统检漏扫描测试。测试时，将指定的挑战气溶胶注入过滤器上游，用光度计探头扫描过滤器下游和格栅或安装边框系统查找是否有漏点：

a.测量过滤器上游的气溶胶浓度。该气溶胶浓度应作为上游100%用于光度计对照。下游测量值显示为上游浓度的百分比穿透率；

b.然后将探头以不超过5 cm/s的速度往返重叠（建议重叠1cm）扫描。探头与下游过滤器表面或边框结构距离应为3cm或更小；

c.扫描应覆盖每个过滤器的整个下游表面、每个过滤器的边缘、过滤器边框与格栅结构的密封处，包括其接口；

d.在检漏扫描间和之后，应以合理时间间隔重复测量过滤器上游的气溶胶浓度，以确认挑战气溶胶浓度的稳定性。

2.光散射空气悬浮粒子计数器(LSAPC)方法

将有任何类型空气处理系统的洁净间/区，设施排放油性挥发性测试用气溶胶并在过滤器上沉积，风管不能承受或推荐使用固体气溶胶的。

注1:本方法要求进行一系列的计算来设计方法，亦可能需要使用稀释剂。计算可手动，可通过单独的计算机，可通过仪器连接的计算器或在可自动计算的LSAPC仪器内完成。

注2:本方法亦可用于可承受排放油性气溶胶的系统。

已安装过滤器系统检漏用仪器和材料

气溶胶光度计限用于背景粒子数或浓度低于规定泄漏率10%的情形；

光散射空气悬浮粒子计数器(LSAPC)，限用于背景粒子数或浓度低于指定泄漏率的10%的情况；

适当的气动或热力学气溶胶发生器，提供具有适当粒径范围的适当挑战气溶胶浓度；

所规定的仪器应具备有效的校正证书。