FFU(Fan Filter Unit)是一种风机与过滤器组合的设备，也被称为“自带风机的过滤单元”。通常安装在洁净室的送风末端，一般放置在吊装的龙骨框架上。FFU上部分为风机模块，下部分为过滤器，根据洁净度的要求，过滤器可应用不同等级的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器，以及化学过滤器，为洁净室提供洁净空气。广泛应用于电子、半导体、平板显示、生物制药、食品等领域。

FFU化学过滤器现场安装示意图

FFU应用

1.风机过滤机组

采用知名品牌EC风机，能耗低、噪音更低，安装和维护方便。

FFU组成

2.HEPA/ULPA过滤器

HEPA过滤器的效率按照mpps计数法≥99.95%，HEPA过滤器可以过滤≥0.3微米的微粒，包括花粉、灰尘、油雾等。而ULPA过滤器具有更高的过滤效率，ULPA过滤器的效率≥99.9995%，过滤≥0.1微米颗粒物。

3.化学过滤器

FFU化学过滤器一般安装在FFU中HEPA/ULPA过滤器上游位置，根据洁净室工作区存在的有害气体，用于FFU的每个化学过滤器可以使用不同的类型。

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智能FFU节能控制系统

为了实行全面监控，随时了解空气洁净度的变化趋势，亿天净化研发了智能FFU控制系统，可实现大规模群控和智能控制，构建洁净室的环境数据，通过系统主机及远程控制终端PC，可直观展示系统中所有FFU的运行状态，并根据洁净度状态对FFU分片区动态智能控制，可节能40%左右。