电子半导体行业的MAU机组，也称新风机组(全外气空气处理机组)，工作原理是在室外抽取新鲜的空气经过除尘、除湿（或加湿）、降温（或升温）等处理后通过风机送到室内，在进入室内空间时替换室内原有的空气。可以实现对外气的冷却除湿、加热加湿功能，以及全年的空气过滤，去除有害气体、空气输送等作用。

其中MAU机组空气过滤段主要使用了化学过滤器、初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器等来对空气中的颗粒污染物、气态分子污染物进行过滤。

化学过滤器

化学过滤器用于去除化学污染物(AMC)，化学过滤技术是利用特殊配置的化学过滤材料吸附污染物质，并让污染气体同滤料中的化学成分发生化学反应，把有毒有害的气体污染物中和氧化成为无害的固体盐类，从而达到去除污染气体的目的。

主要分为：平板型化学过滤器 、W型化学过滤器、箱式(有法兰/无法兰)化学过滤器、碳筒化学过滤器、插板式化学过滤器、V型化学过滤模块等。

初效过滤器

初效板式过滤器主要初级过滤空气尘埃粒径(≥5.0μm)以上粗尘颗粒。一般用于通风空气处理设备中的过滤段或新风系统的初级过滤，为保护下一级过滤器并延长其使用寿命而设置。

中效过滤器

中效袋式过滤器，主要用于捕集1-5μm的颗粒灰尘及各种悬浮物。主要应用于中央空调和集中送风系统的中级过滤及含尘量浓度较高的场所，也可用于工业领域的一般空气净化，作为高效过滤器的前置过滤器，以保护系统中下一级过滤器和系统本身。

高效过滤器

高效过滤器通常用于清除受控环境空气中0.1um以上的颗粒灰尘及各种悬浮物，以便提供更洁净的室内空气，因此，它们常用于过滤系统的末端。

主要分为：PTFE板式高效过滤器、有隔板高效过滤器、W型高效过滤器、无隔板高效过滤器、无隔板液槽式高效过滤器、耐高温高效过滤器等。

过滤器的选择是否合理、过滤效率是否达标都对系统满足工艺要求和节能减排有很大的影响，亿天净化已经为全国众多企业提供了高品质空气过滤器。

亿天净化是集空气质量“检测、净化、监测”为一体的全链路数字化洁净室解决方案提供商，从采样-方案设计-过滤器搭配-净化装置匹配-检测仪器-监测系统设计等实现闭环管理，优化工艺，实现最高效净化。