层流罩的尘埃粒子测试方法

层流罩是能将操作员与产品屏蔽隔离的设备之一，其主要用途是避免产品污染。从洁净室吸取的空气，然后采用顶部增压舱里安装的风扇通过HEPA过滤垂直穿过操作区域，为关键区域提供ISO 5(级别100)的单向流空气。废气从下面排出，返回洁净室区域。它主要由箱体、风机、高效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成。

　　洁净层流罩是将空气以一定地风速通过高效过滤器后，形成均流层，使洁净空气呈垂直单向流，从而保证了工作区内达到工艺要求的高洁净度。洁净度等级标准：工作区内≥0.5μm粒径的尘埃≤3.5颗/升(FS209E100级)。下面深圳亿天净化简单描述一下层流罩的尘埃粒子测试方法和条件：

　　层流罩的尘埃粒子测试方法：

　　1、关闭净化空调,使室内≥0.5μm粒子浓度大于350 00粒/L,且吸风口≥0.5μm粒子浓度不得小于350 00粒/L。

　　2、当吸风口处的粒子浓度达到稳定条件下，在距主过滤器或整流格栅出口250 mm的平行断面的中心处连续测试5次，求其平均值。

　　3、当测试时有5μm粒子出现时，应进行多次采样，当其多次出现时，才认为该测试数值是可靠。

　　4、可接受标准：≥0.5μm粒子浓度小于3.5粒/L，不准许有≥5μm粒子。

　　5、检测结果记录表录入。

　　层流罩的尘埃粒子测试条件：

　　1、层流罩吸风口≥0.5μm粒子浓度不得小于35000粒/L。

　　2、层流罩吸风口处的粒子浓度测试，需要在测试洁净工作台操作区粒子浓度的时间内进行，需测5次。

　　3、检测仪器：美国TSI9306-04尘埃粒子计数器。