监测超净半导体环境的污染物控制解决方案（二）

2023-02-13
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　　半导体制造

　　Semiconductor Manufacturing

　　半导体短缺和半导体更小的工艺节点竞争。集成电路(IC)的短缺要求从制造过程中获得更多的产出，因此行业领导者则在竞争更小的工艺节点。这些挑战要求对空气中的颗粒物污染进行监测，以确保产品无风险，产量(产品良率)提升，顺利通过洁净审核。TSI通过我们的高灵敏度粒子计数器提供从纳米粒子到亚微米粒子等完整的环境监测解决方案，满足半导体短缺和更小工艺节点的竞争需求。

　　TSI 10 nm洁净室凝聚核粒子计数器(CPC)和0.1 μm粒子计数器(远程粒子计数器和便携式粒子计数器)是满足半导体行业关键需求的最佳组合。

　　TSI 提供高灵敏度粒子计数器近60 余载，比任何其他粒子计数器公司历史更悠久。TSI仪器被用于世界各地国家级标准实验室，这些实验室要求卓越的准确性、重复性和可靠性。绝不妥协于任一制造过程——相信TSI会监测到一切。

　　您值得信赖的0.1µm测量

　　1.0CFM (28.3 L/min)的AeroTrak®远程粒子计数器7110型和AeroTrak®便携式粒子计数器9110型能够满足半导体洁净室应用的苛刻要求。两款仪器均为您提供4年激光器保修。

　　AeroTrak® 远程粒子计数器7110型

　　7110 型远程粒子计数器的检测精度可低至 0.1 μm！此款仪器采用具有提高的信噪比的专利 HeNe 激光技术实现。此款仪器专用于无尘室监测、过程监测及过滤器测试应用领域。此外，由于此款粒子计数器与外部真空源一起使用，因此置放和配置系统具有极大的灵活性。

　　粒子计数数据能够轻松连续传输到 TSI FMS 5 之类设备监测系统中，进行安全的数据采集和分析。特别是，当它与 FMS 5 整合时，您会拥有一个具备统计过程控制等特点的强大生产力工具。这些粒子计数器还能存储多达 2000 条样本记录。

　　7110 型符合 ISO 21501-4 中规定的所有严格要求。它通过 NIST 可溯源 PSL 球进行校准，采用粒子检测公认标准，即 TSI 的世界级分级器和凝聚核粒子计数器标准。

　　AeroTrak® 便携式粒子计数器9110型

　　9110 型便携式粒子计数器检测精度可低至 0.1 μm！9110型完全遵从 ISO-14644-1 标准，是 1 级和 2 级洁净室分级的最佳选择。这款仪器适用于洁净室监测、过程监控和过滤器测试应用。

　　9110 型可以通过打印机和配套的 TrakProTM Lite Secure 下载软件生成符合 ISO 14644-1 标准的通过或非符合的报告。它不仅可以作为单机粒子计数器使用，也可以集成于诸如 FMS 5 等在线粒子监测系统。数据存储量可达250 个区域，999 个位置和 10,000 个样品。