电子行业粒子实时在线监测系统除了可选择无线监测系统外,还可以采用Manifold顺序粒子在线监测系统,这是一个较为经济的方案。该系统配有32个采样口(即可全选也可部分选择使用),系统依次对每个监测点进行采样,采样轮回周期取决于监测点数量,最小监测粒径可达0.1μm。亦可搭配无线系统使用。
*多路监控多达32个点的位置
*自净时间短
*双向控制能力
*多点采样较为经济
*采样管路可长达38.1米
*采样点顺序可编程
*可与流量为28.3L/min(1立方英尺)AeroTRAK便携式粒子计数器相兼容
*综合控制器的低复杂性
*双向控制能力
*使用压力传感器以确保真空流量
*双向步进马达控制方向
数据实时监控,报警
数据趋势分析
数据报告导出
3级权限管控
具备后期的扩展性
支持邮件发送
中英文双语版
设备远程控制
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