在线监测系统,既避免了人工巡检的人为因素对洁净室环境的干扰,也满足获得连续生产数据的要求。
ESKY-VOCs主要由传感器陈列模块、多路采样器、控制柜以及在线软件监控系统4个部分组成。设备通过多路采样器配套的大泵完成远距离抽样,之后再通过微型小泵进行传感器精准送样,实现精准采样量以及过滤控制;利用专利高效能微气相色谱谐技术(GC),可实现定制化VOC分离效能。采用复合传感器组合,实现做低VOC检测限(<ppb);部署带有RAID1磁盘阵列保护服务器,实现丰富的图表数据展示。
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